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ワイヤーモールドタイプ プローブカード
ワイヤーモールドタイプ プローブカード
主にアナログ・ロジック等一般的に用いられるプローブカード。多層立てにする事により、40μm狭ピッチの針立てが可能。

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2チップ同時測定用 プローブカード
2チップ同時測定用 プローブカード
主にアナログ・ロジック等の一般的に用いられるプローブカード。多層立てにする事により、40μm狭ピッチの針立てが可能。

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田の字型(4チップ同時測定用) プローブカード
田の字型(4チップ同時測定用) プローブカード
上記、2タイプより派生した東邦独自のプローブカード。「縦方向に2チップ×横方向に2チップ=計4チップ」の同時測定用として開発。デバイス仕様に応じて下記の「卍型プローブカード」との量産対応を実現。

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卍字型(4チップ同時測定用) プローブカード
卍字型(4チップ同時測定用) プローブカード
「縦方向に2チップ×横方向に2チップ=計4チップ」の同時測定に対応可能。平行立てによる針立て方式なので針圧や針跡が均一になりやすい為、一般的な4チップ同時測定用プローブカードとして利用されている。デバイス仕様に応じて「田の字型プローブカード 」との選択が可能。

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高周波対応 プローブカード
高周波対応 プローブカード
高周波専用基板・高周波専用針を使用し最大3GHzまで対応可能。また、プローブカードをカスタマイズする事により最大5GHzまで対応出来ます。

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φ300一括コンタクト高周波専用 プローブカード
φ300一括コンタクト高周波専用 プローブカード
φ300同時一括コンタクト及び高周波専用プローブカードです。φ300のウエハーを一括でコンタクトし測定します。広いデバイスに対しても、高さバラツキや傾き等も良好です。

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